噴吹法檢漏係統如下圖所示。圖中的輔助泵是用來對被檢容器進行預抽並當被檢容器存在大漏時用來維持檢漏儀的工作壓力的。檢漏時,先用輔助泵將被檢容器抽到低真空,然後再關閉輔助閥,打開檢漏閥,將被檢容器與事先已抽至極限真空的檢漏儀的質譜室相通,並用質譜檢漏儀對被檢容器進行抽氣。當質譜室達到工作壓力時,使儀器處於檢漏工作狀態,然後用儀器所附的噴槍在被檢容器可疑漏氣部位噴吹氦氣,如果有漏,氦氣通過漏孔進入被檢容器內部並迅速進入到檢漏儀,由輸出儀表指示出來。輸出儀表讀數變化的大小可以確定檢出漏孔的漏率大小。噴檢噴吹的位置可以確定檢出漏孔的位置。這是目前使用最多,也是較方便的一種方法。

當被檢容器存在大漏時,單用檢漏儀來抽被檢容器,真空度抽不上去,質譜儀不能工作。此時可打開輔助閥,用輔助泵幫助抽氣,以維持質譜儀的正常工作壓力。輔助泵打開後,由於輔助泵的分流作用,使檢漏靈敏度降低。因此輔助閥的打開程度要盡量小,以能維持檢漏儀的工作壓力為限。

圖1 噴吹法檢漏係統  1一檢漏儀 2一輔助閥 3一輔助泵  4一被檢容器 5一氦氣瓶

噴吹時間t與氦分壓最大值QHe/SHe的關係如下:

從這裏可以看出,開始增加t的效果顯著,但t增加到3t以上時效果就不大了,充其量提高5%,而此時檢漏效率就大大降低,極不合算,故一般噴吹時間t為3倍反應時間。

噴吹法的最大優點在於可以較準確的找到漏孔位置。然而由於其有效靈敏度與噴吹時間有關。噴吹時間越長,有效靈敏度越高,但檢漏的效率就大大降低。此外,噴出的氦立即向周圍擴散,使漏孔處的氦濃度降低,使有效靈敏度降低。